Microscopie acoustique hautes fréquences : application à la caractérisation de matériaux multicouches

Soutenance de thèse de Carla De Mello - lundi 12 décembre 2011

L'emploi généralisé de matériaux multicouches dans l'industrie soulève la question du contrôle de leur état de dégradation. Ce contrôle se base traditionnellement sur des méthodes destructives engendrant des pertes économiques importantes. De nouvelles méthodes non-destructives sont alors développées, comme par exemple la microscopie acoustique.

Lorsque la topographie des couches à imager n'est pas régulière ou lorsque les couches sont en nombre importants ou atténuantes, la microscopie acoustique hautes fréquences n'est pas optimisée pour l'observation de ce genre d'objets de petites dimensions. L'objectif de cette thèse est de développer une nouvelle méthode d'acquisition et de traitement du signal acoustique, basée sur l'utilisation d'un microscope à hautes fréquences. Une aide à la focalisation du faisceau acoustique sur l'interface à analyser, une augmentation du rapport signal/bruit, et une correction virtuelle de la non planéité des couches constituent les points clef!  s de ce travail.

De nouveaux modes de représentation des données acoustiques ont aussi été mis au point, comme la représentation par films 3D en fonction du temps ou de la fréquence. Des capteurs hautes fréquences (jusqu'à 600 MHz) ont permis de produire des images en haute résolution des défauts enterrés dans des matériaux multicouches et très atténuants. Des résultats probants ont notamment été obtenus sur des échantillons électroniques comme des modules de puissance, confirmant ainsi le potentiel de cette méthode pour le contrôle de l'état de dégradation d'autres matériaux.

FaLang translation system by Faboba